熱式氣體質量流量計是利用熱擴散原理測量氣體流量的儀表。傳感器由兩個基準級熱電阻(RTD)組成。一個是速度傳感器RH，一個是測量氣體溫度變化的溫度傳感器RMG。當這兩個RTD置于被測氣體中時，其中傳感器RH被加熱，另一個傳感器RMG用于感應被測氣體溫度。隨著氣體流速的增加，氣流帶走更多熱量，傳感器RH的溫度下降。
熱式氣體質量流量計雖然有很多的優勢，但也有缺點，比如：只能測量干燥的氣體，如果氣體內含有較大水汽，示值將偏大，初步的判斷標準是管道內不會形成凝結水的氣體均可以測量；氣體組分變化頻繁且測量精度要求高的氣體不適合測量；氣體內粉塵含量較高且測量精度要求高的氣體不適合測量。
熱式氣體質量流量計具有以下特點：
(1)直接測量氣體質量流量，精度達到±1.0%F·S；
(2)重復性達到±0.2%F·S；
(3)量程比達到100∶1；
(4)熱式氣體質量流量計壓損極小，150mm內徑以上壓損可以忽略；
(5)一個過程連接，標定時已做好溫壓補償，無須額外的溫度、壓力變送器及對應的補償；
(6)插入式安裝，雙卡套鎖緊連接方式，內部無可動部件，基本免維護；
(7)管道震動對儀表性能影響非常小；
(8)可帶球閥安裝，省去旁路管道及相應的閥門；
(9)前后直管段要求低，管道式只需1D前直管段；
(10)自帶免費儀表通訊軟件，方便對儀表微調；
